功能：2~4寸藍寶石襯底片和視窗片退火前刷洗

本設備為人工將藍寶石晶圓片放入刷洗腔內(nèi)，蓋上蓋子，按啟動按鈕，按設定好的刷洗時間進行活性劑噴淋刷洗，純水噴淋刷洗，清洗結(jié)束報警，打開蓋子取出晶圓片。